制造先進(jìn)芯片需要近乎完美的晶體材料，外延設(shè)備是生長(zhǎng)晶體材料的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于集成電路、功率器件、硅材料、第三代半導(dǎo)體等領(lǐng)域。
作為中國(guó)外延工藝裝備技術(shù)的開(kāi)拓者，北方華創(chuàng)（002371）早在2010年就啟動(dòng)外延裝備的研發(fā)工作，經(jīng)過(guò)十余年的技術(shù)沉淀與創(chuàng)新突破，已發(fā)布20余款量產(chǎn)型外延設(shè)備，累計(jì)出貨近1000腔。
Excellent
(資料圖片)
品全質(zhì)優(yōu)
從2012年首臺(tái)硅外延設(shè)備成功進(jìn)入客戶端至今，北方華創(chuàng)已然形成具有核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)的品類(lèi)齊全、應(yīng)用廣泛的外延設(shè)備系列化產(chǎn)品。
具備多種材料外延生長(zhǎng)技術(shù)能力：包括單晶硅、多晶硅、碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）、磷化銦（InP）等，覆蓋集成電路、功率器件、射頻、半導(dǎo)體照明等領(lǐng)域應(yīng)用需求。
— NAURA外延工藝一覽表 —
實(shí)現(xiàn)4英寸到12英寸全覆蓋：包括8英寸及以下的單片及多片大產(chǎn)能硅外延設(shè)備、12英寸硅外延設(shè)備、4/6/8英寸碳化硅外延設(shè)備、8英寸及以下單片及多片大產(chǎn)能硅基氮化鎵外延設(shè)備。
— 4-12英寸單片/多片外延設(shè)備圖示 —
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譽(yù)滿行業(yè)
勵(lì)精圖治，經(jīng)過(guò)十余年在技術(shù)和市場(chǎng)方面的積累，北方華創(chuàng)的外延產(chǎn)品業(yè)績(jī)斐然，不斷贏得客戶和產(chǎn)業(yè)界的好評(píng)。
公司在外延領(lǐng)域最早問(wèn)世的8英寸硅外延設(shè)備，打破了行業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)格局，成為了行業(yè)內(nèi)主流Baseline（基準(zhǔn)）產(chǎn)品，將產(chǎn)業(yè)發(fā)展推向全新高度，問(wèn)世至今幾乎斬獲國(guó)內(nèi)市場(chǎng)全部訂單。
12英寸常壓硅外延設(shè)備突破了一系列關(guān)鍵技術(shù)，獲得了市場(chǎng)的廣泛認(rèn)可：在功率器件領(lǐng)域，截至當(dāng)前已在客戶端連續(xù)量產(chǎn)超過(guò)20萬(wàn)片；在硅材料領(lǐng)域，已在多家客戶端實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)，各項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo)達(dá)到國(guó)際主流水平。此外，憑借優(yōu)異的工藝性能和市場(chǎng)化業(yè)績(jī)，產(chǎn)品于2022年榮獲中國(guó)集成電路創(chuàng)新聯(lián)盟第五屆“IC創(chuàng)新獎(jiǎng)”。
面向投資火爆的碳化硅領(lǐng)域，北方華創(chuàng)憑借深厚的技術(shù)積累，快速開(kāi)發(fā)了碳化硅外延產(chǎn)品，目前產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)近200臺(tái)的銷(xiāo)售，占據(jù)市場(chǎng)半壁江山。面向8英寸碳化硅市場(chǎng)，北方華創(chuàng)前瞻性開(kāi)發(fā)的6/8英寸兼容多片碳化硅外延設(shè)備也即將投入市場(chǎng)，將大幅降低客戶運(yùn)營(yíng)成本，引爆新一輪市場(chǎng)熱潮。
Innovative
常研常新
自2010年以來(lái)，北方華創(chuàng)對(duì)標(biāo)行業(yè)前沿科技，精研市場(chǎng)及客戶需求，通過(guò)持續(xù)創(chuàng)新，突破并優(yōu)化了氣流場(chǎng)、加熱場(chǎng)、氣路系統(tǒng)、溫度控制、壓力控制、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)等一系列關(guān)鍵技術(shù)，并可針對(duì)客戶需求進(jìn)行定制化研發(fā)。
多區(qū)控溫技術(shù)，可提升外延層的結(jié)晶質(zhì)量，優(yōu)化外延層的摻雜分布，滿足多種不同的技術(shù)要求。
高溫潔凈腔室技術(shù)，可降低晶體雜質(zhì)與缺陷，提升器件層的晶體質(zhì)量，提升器件性能。
多區(qū)水平氣流場(chǎng)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)單向?qū)恿鳎瑹o(wú)反流湍流，可拓寬外延工藝窗口，提高外延界面質(zhì)量，實(shí)現(xiàn)外延膜層的可控和器件的高性能。
常壓與減壓下的加熱場(chǎng)與氣流場(chǎng)的仿真技術(shù)，提升了工藝腔室的設(shè)計(jì)效率，為解決具體問(wèn)題提供了理論支持。
北方華創(chuàng)將始終堅(jiān)持對(duì)行業(yè)前沿科技的探索與研究，致力于打造具有前瞻性的專業(yè)技術(shù)與解決方案，以精良的外延設(shè)備與創(chuàng)新的專業(yè)服務(wù)為客戶創(chuàng)造價(jià)值，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無(wú)限可能！
